SRP-4探头——SRP-4面铜探头（CMI700探头）测试技术参数： 
    铜厚测量范围： 
    化学铜：10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm) 
    电镀铜：0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm) 
    线形铜可测试线宽范围：8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm) 
    准确度：±1% (±0.1 μm)参考标准片 
    精确度：化学铜：标准差0.2 %；电镀铜：标准差0.5 % 
    分辨率：0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil, 
    0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm